中国科学院半导体研究所研究员来通大作学术讲座
发布时间:2018-04-02

3月24日,中国科学院“百人计划”获得者、中国科学院半导体研究所博士生导师杨晋玲研究员来校作题为“高Q高频微纳谐振器件”的学术报告,报告会由电子信息学院副院长、江苏省专用集成电路设计重点实验室副主任孙玲教授主持。

高Q高频微纳(MEMS)谐振器件的研究具有很强的高技术应用背景,可实现单片化、小型化、低功耗化以及低成本化的无线通信系统及传感系统。杨晋玲研究员首先分析了MEMS谐振器件的广阔应用前景以及当前存在的技术难点问题。基于个人研究成果,杨晋玲研究员向师生们展示了研制的MEMS圆盘谐振器/振荡器、MEMS悬臂梁谐振器、生物传感检测系统、AFM探针、射频三维真空封装技术以及射频微弱信号测试技术等,详细阐述了MEMS器件结构设计流程以及关键工艺步骤。针对MEMS谐振器件,杨晋玲研究员课题组解决了多项国际性技术难点问题,研究成果已开始推向市场应用。最后,杨晋玲研究员与现场师生进行学术交流,其精彩讲座和互动交流给广大师生带来很大的启发。

杨晋玲是中国科学院半导体研究所研究员,中国科学院“百人计划”获得者,中国科学院大学教授。长期从事MEMS器件研究,发表SCI/EI论文90余篇, SCI总引1000余次。合著两本丛书,应邀为《Encyclopedia of Nanotechnology》和《Handbook of MEMS》撰写了文章。获得PCT专利1项,欧洲专利3项,申请中国发明专利38项, 22项授权。承担了国家级和省部级项目20余项。获得2016年中国侨界创新人才奖。传感技术联合国家重点实验室中国科学院半导体研究所专业点负责人。国际核心期刊Microsystems & Nanoengineering、Biosensors and Bioelectronics、IEEE J. Microelectromech. Syst.和Nanotechnology等的审稿人。

 

作者:南通大学 孙琳玲 赵继聪

责任编辑:喻小津